1. 0.1 ~ 0.17 μm 입자에 대하여 99.9995% 이상을 포집할 수 있는 초고성능 FILTER
2. Clean Room Class 1~100 이하에 적용되는 FILTER
3. 반도체 및 전자부품 공장 등의 Clean Room에 적합하며, Gel & tight seal 시스템에 적용 가능
4. 0.1㎛ 의 particles 입자를 제어가능한 표준형 ULPA FILTER
1. 반도체, 전자부품공장, 제약회사 등 초LSI 산업의 Clean Room, Clean Bench 등. |